Система встроенного магнетронного распыления Рекомендуемое изображение

Встроенная система магнетронного распыления

Краткое описание:

Встроенная система магнетронного напыления представляет собой оборудование для вакуумного осаждения тонких пленок, которое используется для различных целей.Наиболее распространенные области применения нашей линии напыления, в том числе:

Изготовление алюминиевых зеркал.

Покрытие стекла ИТО
Антибликовое стекло
Декоративные покрытия для нержавеющей стали и стекла

Эта система покрытия подходит для высококлассных вакуумных покрытий.Он обеспечивает стабильную работу для улучшения качества пленок для вакуумного покрытия.

Отправить письмо нам

Информация о продукте

Теги продукта

Встроенная машина для нанесения покрытий магнетронным напылением в основном представляет собой магнетронное напыление постоянного тока (или MF). Покрытие магнетронным напылением может быть адаптировано к широкому спектру целей, таких как: медь, титан, хром, нержавеющая сталь, никель и другие металлические материалы, на которые можно наносить покрытие с помощью процесса напыления. может улучшить адгезию пленки, воспроизводимость, плотность, однородность и другие характеристики.

а.Основные характеристики и параметры
б.горизонтальная линейная структура может быть реализована с одновременным покрытием с одной стороны
в.эффективность производства, самые быстрые скорости до 1 мин / такт
д.модульная конструкция, простота обслуживания
е.зрелость процесса покрытия, высокий выход
ф.Катоды для магнетронного распыления постоянного тока могут варьироваться в зависимости от требований заказчика.
грамм.вакуумная система состоит из механического насоса, насосов Рутса, диффузионных насосов (молекулярный насос) Состав
часРазмер корпуса линии может варьироваться в зависимости от требований заказчика

1) Материалы корпуса вакуумной камеры, используемые SUS304, полировка обработки стен вакуумной камеры, обработка шариков для полировки внешней стены.
2) Используя независимый запорный клапан между вакуумной камерой и откидным клапаном, можно эффективно отрезать и стабилизировать технологический газ.В настоящее время наша компания принимает конструкцию откидного клапана, он лучше герметизируется и более долговечен, чем текущий отечественный общий откидной клапан.
3) В трансмиссии используется магнитная направляющая, защищающая стабильность привода.Для каждой скорости всей производственной линии с использованием моторного привода VVVF можно регулировать скорость работы.
4) Электрическая система управления: сенсорный экран и автоматическое управление ПЛК, человеко-машинный диалог для достижения системы отображения данных, рабочих параметров и технологии управления.
1) Предельное вакуумметрическое давление: 6 × 1 0E-4 Па
2) средний производственный цикл: по продукту определяется
3) Размер держателя подложки: можно настроить в соответствии с требованиями
4) Однородность пленки: передовая технология мобильного поля ± 3% значительно улучшила использование цели.
Сегментированная конструкция нагревателя способствует оптимизации процесса.