Линия магнетронного напыления алюминиевого зеркала
Краткое описание:
Линия магнетронного напыления алюминиевых зеркал предназначена для производства стеклянных зеркал с высокой производительностью.Чтобы покрыть большое стекло и позаботиться о хрупкой стеклянной панели, особенно для листов большого размера, мы обычно делаем линию напыления горизонтального типа.Это непрерывная линия магнетронного покрытия с передней и задней камерами грубой откачки, после переходной камеры, до и после камеры тонкой откачки, буферной камерой, помещением для нанесения цветных покрытий.
Линия магнетронного напыления алюминиевого зеркала обычно поставляется с несколькими вакуумными камерами для завершения вакуумного покрытия стеклянных листов.
Основные характеристики:
1. Максимальный размер покрытия стекла: 2440x3660 мм или по индивидуальному заказу
2. Доступны модели с несколькими вакуумными камерами и камерами с несколькими распылителями.
3. Горизонтальная магнитная линия управления имеет одно- и двухконцевую структуру;двойная очистка стекла, покрытие, обнаружение, покраска, сушка, охлаждение могут быть выполнены одновременно
4. Линия нанесения покрытия методом напыления использует ПЛК для управления всем процессом и оснащена цветным экраном для отображения данных процесса нанесения покрытия.
Слой покрытий: титан, хром, нержавеющая сталь, алюминий, серебро, медь и т. д.
Соединение: TiN, TiO2 и т. д.
Толщина слоя: 5-100нм
Пропускание: 8-40% при длине волны 380-780 нм
Температура осаждения: комнатная температура
Предельное давление после 8-часовой откачки:
Входная шлюзовая камера и вакуумная шлюзовая камера: 5×10-1 Па или ниже
Буферная камера 1: 3×10-3 Па или ниже
Камера распыления: 2×10-3 Па или ниже
Буферная камера 2: 3×10-3 Па или ниже
Выходная шлюзовая камера и вакуумная шлюзовая камера: 5×10-1 Па или ниже