Основными особенностями ARC-500 являются быстрое время цикла, простота в эксплуатации и удобство использования по выгодной цене.Он имеет четыре высокопроизводительных катода катодного дугового испарения.Это идеальный выбор для клиентов, которые хотят войти в мир покрытий или хотят добавить быструю систему PVD малого объема к своему парку машин.
Применяемые технологии:
Катоды катодного дугового испарения
Преимущества:
Высокая целевая загрузка
Высокая скорость осаждения
Быстрая замена катода
• Общая конструкция: вертикальная передняя дверь, горизонтальная передняя дверь, задняя вакуумная система откачки.
• Материалы: Полость изготовлена из высококачественной нержавеющей стали SUS304.
• Источник ионно-дуговой сварки: Оснащен несколькими источниками питания дуги в зависимости от размера оборудования.
• Источник питания смещения: Оснащен мощным одноступенчатым импульсным источником питания смещения.
• Многодуговые мишени: несколько наборов мишеней из титана или нержавеющей стали в стандартной комплектации
• Вращающаяся система: регулирование скорости с переменной частотой, комбинация вращения и вращения, верхняя или нижняя передача.
• Вакуумная система (оборудование для декоративного покрытия): диффузионный насос (дополнительный молекулярный насос) + насос Рутса + механический насос
• Контроль газа: многоходовая система контроля массового расхода газа
• Система отопления: декоративное покрытие 150 ℃ контроль температуры PID регулируемый и контролируемый
• Интеллектуальное управление: интеллектуальное управление ПЛК + полноцветный сенсорный интерфейс ЧМИ для достижения полностью автоматического логического управления.
• Аварийная сигнализация и защита: сигнализация при ненормальных условиях и принятие соответствующих мер защиты.
Максимум.нагрузка: 100 кг
4 - 6 партий/день
МОДУЛЬНЫЕ КАРУСЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ:
Карусельный кикер с двойным вращением или редуктор с тройным вращением
ПРОГРАММНОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ:
Простое использование и обслуживание
Система управления с сенсорным экраном
Запись данных и отображение в реальном времени параметров процесса и расхода
Ручное и автоматическое управление процессом
РАЗМЕРЫ МАШИНЫ:
Занимаемая площадь [мм]: Д2300 x Ш1600 x В1950