-Одна/две двери
Рама и камера изготовлены из углеродистой нержавеющей стали.
Каждая дверь имеет смотровое окно для визуального контроля процесса.Стенки дверцы снабжены вкладышем из нержавеющей стали, который легко снимается для технического обслуживания.
-Индивидуальная вакуумная камера
Камера обеспечивает легкое удаление внутренних вкладышей из нержавеющей стали для очистки.
Насосы стоят на его задней части.
Камера имеет ряд небольших фланцев для измерения.
-Высоковакуумная насосная система
Диффузионный насос+Бустерный насос+Механический насос
-Вакуум измерения и контроля
С металлическим датчиком Пирани + металлическим датчиком ионизации
-Система перемещения светильников
-ПЛК Блок управления
-Алюминиевая система испарения с мощным трансформатором
-Железная рама
Структура разумная
Слой пленки равномерный.
Качество формирования пленки
Высокая скорость откачки, короткий рабочий цикл и высокая эффективность производства
Операция удобна
Низкое энергопотребление и стабильная производительность
Номер модели | ЭВ-1000 | ЭВ-1200 | ЭВ-1400 | ЭВ-1800 | ЭВ-2000 | Доступны модели с двумя дверями или с двумя камерами. | |
Размер вакуумной камеры (диаметр*высота) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Материал вакуумной камеры | Углеродистая сталь, SUS304 или SUS316L | ||||||
Технология работы | вакуумное сопротивление испарению с вольфрамовыми и алюминиевыми нитями, высокомощный испарительный трансформатор | ||||||
Насосная система | Диффузионный насос+механические насосы, бустерный насос | ||||||
Время откачки | От атмосферы до 5,0*10-2 Па менее 8 минут | ||||||
Ограничение вакуума | 5,0*10-4 Па | ||||||
Рабочая температура | Комнатная температура | ||||||
Рабочий режим | Автоматический или ручной режим, 10,4-дюймовый сенсорный экран ПЛК | ||||||
Суммарная мощность | 40-80кВт | 70-140кВт | |||||
След | 2*2 метра | 2*3 метра | 3*3 метра | 3*3 метра | 3*4 метра | 4*5 метров | 5*6 метров |
Эти блоки вы можете сделать на заказ | 1. Размер вакуумной камеры 2. Конфигурации насосов | ||||||
Дополнительные инструменты | 1. Детектор утечки 3. Система дугового ионного осаждения 4. Система магтронного распыления |